华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目国际公开招标公告

项目概况

华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目 招标项目的潜在投标人应在上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室获取招标文件，并于2022年03月30日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：0773-2240SHHW0019

项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目

预算金额：663.0789000 万元（人民币）

采购需求：

项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目

包件1：反应离子束刻蚀系统；

数量及单位：1台；

简要技术参数：

3、等离子体源

3.1、射频发生器：最大功率300瓦，13.56MHz，带自动匹配单元；

★3.2、ICP源发生器：最大功率3000瓦，2.0MHz，带自动匹配单元；

包件2：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统；

数量及单位：1台；

简要技术参数：

★1、SiO2的标准沉积速率：≥40 nm/min；高速沉积速率：≥500 nm/min

2、SiO2薄膜沉积厚度：≥6um。

其余详见本项目招标文件。

合同履行期限：自合同签订之日起250天内；

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。

3.本项目的特定资格要求：1）投标人为制造商须提供制造商资格声明函（见格式 IV-9-2）；投标人为代理商时，须提供资格声明函（见格式 IV-9-3）及制造商针对本项目授权函（见格式 IV-9-4）； 2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明；3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册（由于机电产品交易平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）4）不接受联合体投标。

三、获取招标文件

时间：2022年03月09日  至 2022年03月16日，每天上午9:30至11:30，下午13:00至16:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室

方式：因疫情影响，仅支持直接网上转账。

售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2022年03月30日 09点30分（北京时间）

开标时间：2022年03月30日 09点30分（北京时间）

地点：上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1、本项目为国际公开招标，招标公告以机电产品招标投标电子交易平台为准。

2、其他说明：因疫情影响，本项目仅支持网上转账的方式（注明所购买标书的项目名称）购买招标文件。

请把付款底 单发至邮箱：cctcsh@126.com，邮件正文中写明项目名称、公司名称、转账人名称等相关内

容。

3、账户信息：

招标代理机构开户银行(人民币): 中国建设银行上海斜桥支行

招标代理机构开户银行(美元): 中国建设银行上海黄浦支行

账号(人民币): 31001514800050010790

账号(美元): 31001514800050010790

其他: 户名：中金招标有限责任公司上海分公司

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：华东师范大学　　　　　

地址：上海市普陀区中山北路3663号　　　　　　　　

联系方式：校方联系人：臧老师；电话：86-21-62232260　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：中金招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　

地　址：上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室　　　　　　　　　　　　

联系方式：联系人：郭婷婧、曹恩豪；电话：86-21-66059798　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：郭婷婧、曹恩豪

电　话：　　86-21-66059798

公告概要：

具体内容请点击http://www.ccgp.gov.cn/cggg/zygg/gkzb/202203/t20220309_17652630.htm查看。